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中频电源 PECVDMFG4-80KW 40KW*2

服务热线:

产品介绍

产品应用

  光伏电池片PECVD成膜,在硅片表面淀积氮化硅(SiNx)减反射薄膜。

 

产品特点

  • DSP+FPGA控制,硅片转换效率Eta>26.61%;
  • 我司Arc专利技术,消除残余能量,卡点烧焦<0.005%;
  • 标准40kHZ方波输出;中间色差(鸭蛋片)<0.01%;
  • 内置Arc设置 适应不同工艺及舟和硅片,高频误报警<1.5%;
  • 配置主动操作面板,便于本地操作和历史数据查询;
  • 恒功率P/恒流I模式切换,灵活选择,保障镀膜工艺一致性和复制性;
  • 超宽阻抗匹配,无需换挡,适应不同的工艺,TOPCon,PERC,TBC等;
  • 一流的可靠及冷却设计,已有上3万台在PVD及PECVD设备上24H稳定运行;
  • 优越的性能指标和操作界面完全胜任国际品牌,解决生产中及售后卡脖子困惑;
  • 内置避雷器及浪涌双重保护,FC无源滤波+EMI滤波器,对设备0干扰;
  • 物理尺寸;电气;和RS485通讯协议兼容德国TRUMRF电源,实现0成本替换.

 

产品参数

项目

参数

输入电压&频率:

380-400Vac 3P +PE 50-60HZ

输出功率:

80KW (40kw x 2)

输出电流max:

100A+100A 一拖二

输出电压max:

600V

工作模式:

恒功率P/恒流I

输出波形:

方波

工作频率:

40KHZ /±0.01%

脉冲关断时间:

1.5-700ms

脉冲开通时间:

4.5-700ms

脉冲模式:

0.1ms步进

输出通道:

双通道(1拖2)

负载匹配:

无需切换档位 超宽负载匹配能力(8-20Ω)

尺寸mm & 总量

4U 19寸 177 H x 482 W x 644 D 46Kg

通讯接口:

RS-485 兼容TRUMRF Modbus协议,无缝切换

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