
中频电源 PECVDMFG4-80KW 40KW*2
光伏、半导体生产工艺废气裂解、等离子喷涂、焚烧等。
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分类:
产品介绍
产品应用
光伏电池片PECVD成膜,在硅片表面淀积氮化硅(SiNx)减反射薄膜。
产品特点
- DSP+FPGA控制,硅片转换效率Eta>26.61%;
- 我司Arc专利技术,消除残余能量,卡点烧焦<0.005%;
- 标准40kHZ方波输出;中间色差(鸭蛋片)<0.01%;
- 内置Arc设置 适应不同工艺及舟和硅片,高频误报警<1.5%;
- 配置主动操作面板,便于本地操作和历史数据查询;
- 恒功率P/恒流I模式切换,灵活选择,保障镀膜工艺一致性和复制性;
- 超宽阻抗匹配,无需换挡,适应不同的工艺,TOPCon,PERC,TBC等;
- 一流的可靠及冷却设计,已有上3万台在PVD及PECVD设备上24H稳定运行;
- 优越的性能指标和操作界面完全胜任国际品牌,解决生产中及售后卡脖子困惑;
- 内置避雷器及浪涌双重保护,FC无源滤波+EMI滤波器,对设备0干扰;
- 物理尺寸;电气;和RS485通讯协议兼容德国TRUMRF电源,实现0成本替换.
产品参数
项目 |
参数 |
输入电压&频率: |
380-400Vac 3P +PE 50-60HZ |
输出功率: |
80KW (40kw x 2) |
输出电流max: |
100A+100A 一拖二 |
输出电压max: |
600V |
工作模式: |
恒功率P/恒流I |
输出波形: |
方波 |
工作频率: |
40KHZ /±0.01% |
脉冲关断时间: |
1.5-700ms |
脉冲开通时间: |
4.5-700ms |
脉冲模式: |
0.1ms步进 |
输出通道: |
双通道(1拖2) |
负载匹配: |
无需切换档位 超宽负载匹配能力(8-20Ω) |
尺寸mm & 总量 |
4U 19寸 177 H x 482 W x 644 D 46Kg |
通讯接口: |
RS-485 兼容TRUMRF Modbus协议,无缝切换 |
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