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中频电源 PolyMFG4-60KW 30KW*2

服务热线:

产品介绍

产品应用

  利用等离子体场分解反应气体成膜,制备高质量的超薄氧化层及掺杂多晶硅层,实现电池全面背面高效钝化和载流子选择性通过;SIO2,i-poly,n-poly,mask

 

产品特点

  • 内置避雷器及浪涌双重保护,FC无源滤波+EMI滤波器,对设备0干扰;
  • 采用PFC+(Sic及IGBT)组合全桥电路,结合DSP+FPGA数字控制,输出稳定方波,硅片SPC均匀性<2.8%;
  • 新一代Sic半导体可靠性>12倍MOSFET;导热性能快4倍;电源故障率<1‰;
  • 变压器采用纳米晶磁芯:具有极高导磁率;低损耗;频率特性宽,漏磁性小,体积小,绕制简便耐压易控制,故障风险<1;
  • Arc抑弧管理:当检测I-Arc发生可在<10μs内切断并重启电源;
  • 当检测V-Arc发生,控制调整在<1µs内启动;
  • 残余能量<1mJ/kW,杜绝卡点烧焦;提高良率;卡点烧焦<0.005%;
  • Sic器件采用大水路冷却板+辅助风冷设计,多重温控监测及保护,同进口产品相比温度低4度左右,同尺寸功率密度>10%;
  • 配置面板操作及RS-485接口;双重操作与监控;通讯协议兼容德国霍廷格电源,实现0成本置换,操作简单。

 

产品参数

项目

参数

输入电压&频率:

380-400Vac 3P +PE 50-60HZ

输出功率:

60KW 30x2

输出电流max:

75A+5A 一拖二

输出电压max:

800V

工作模式:

恒功率P/恒流I

输出波形:

方波

工作频率:

20-100KHZ /±0.01%

脉冲关断时间:

1.5-700ms

脉冲开通时间:

4.5-700ms

脉冲模式:

0.1ms步进

输出通道:

双通道(1拖2)

负载匹配:

无需切换档位 超宽负载匹配能力(8-20Ω)

尺寸mm & 总量

4U 19寸 177 H x 482 W x 644 D 46Kg

通讯接口:

RS-485 兼容TRUMRF Modbus协议,无缝切换

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