中频电源 PECVDMFG4-40KW 20KW*2

光伏电池片PECVD成膜,在硅片表面淀积氮化硅(Si3N4)减反射薄膜。

中频电源 PECVDMFG4-60KW 30KW*2

光伏电池片PECVD成膜,在硅片表面淀积氮化硅(SiNx)减反射薄膜。

中频电源 PECVDMFG4-80KW 40KW*2

光伏、半导体生产工艺废气裂解、等离子喷涂、焚烧等。

尾气处理—等离子体炬电源

光伏、半导体生产工艺废气裂解、等离子喷涂、焚烧等。

直流溅射电源

镀制各种纯金属材料

中频电源---正弦波

反应溅射镀膜及PCB、印刷、涂覆、点胶等前处理

中频溅射电源方波系列

双阴极溅金属或半导体材料, 特别适合于反应磁控溅射、氧化物、氮化物、碳化物膜层,增加离化率

双极脉冲偏压电源

工具镀、模具、医疗器材、多弧磁控、离子体增强及化学气相沉积;主要作用被镀工件表面的辉光清洗,镀膜前的离子轰击和沉积时的离子加速。

单极脉冲偏压电源

多弧、磁控、等离子体增强及化学气相沉积,要作用被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前离子轰击和沉积时离子加速。

双极脉冲溅射电源

金属合金、石墨、 硅铝、ITO、AZO等靶材镀制金属膜、碳化膜和氧化物、氮化物膜层

单极脉冲溅射电源

金属合金石、石墨 、硅铝 等靶材,镀制金属膜,碳膜和部分氧化物 ,氮化物,碳化物膜层。

阳极层离子源电源

清洗基片表面污染物(本征氧化物等污染物、含碳氢化合物等)、增加薄膜结合力、减少基底缺陷、增加基片表面能、基片表面粗化、离子辅助沉积(致密化薄膜)。
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