中频电源 PECVDMFG4-20KW
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光伏电池片PECVD成膜，在硅片表面淀积氮化硅（SiNx）减反射薄膜
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- 产品描述
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- 商品名称: 中频电源 PECVDMFG4-20KW
光伏电池片PECVD成膜，在硅片表面淀积氮化硅（SiNx）减反射薄膜
产品应用
光伏电池片PECVD成膜，在硅片表面淀积氮化硅（SiNx）减反射薄膜
产品特点
- 内置避雷器及浪涌双重保护,FC无源滤波+EMI滤波器,对设备0干扰;
- 采用PFC+(Sic及IGBT)组合全桥电路,结合DSP+FPGA数字控制,输出稳定方波,硅片SPC均匀性<2.8%;
- 新一代Sic半导体可靠性>12倍MOSFET;导热性能快4倍;电源故障率<1‰;
- 变压器采用纳米晶磁芯：具有极高导磁率;低损耗;频率特性宽，漏磁性小，体积小，绕制简便耐压易控制，故障风险<1;
- Arc抑弧管理：当检测I-Arc发生可在<10μs内切断并重启电源;
- 当检测V-Arc发生，控制调整在<1µs内启动;
- 残余能量<1mJ/kW,杜绝卡点烧焦;提高良率;卡点烧焦<0.005%;
- Sic器件采用大水路冷却板+辅助风冷设计，多重温控监测及保护，同进口产品相比温度低4到6度，同尺寸功率密度>10%;
- 配置面板操作及RS-485接口;双重操作与监控;通讯协议兼容霍廷格电源,实现0成本置换，操作简单。
产品参数
项目
参数
输入电压&频率：
380-400Vac 3P +PE 50-60HZ
输出功率：
20KW
输出电流max:
50A
输出电压max:
600V
工作模式：
恒功率P/恒流I
输出波形：
方波
工作频率：
40KHZ /±0.01%
脉冲开通时间：
1.5-700ms
脉冲关断时间：
4.5-700ms
脉冲模式：
0.1ms步进
输出通道：
单通道
负载匹配:
无需切换档位 超宽负载匹配能力（8-20Ω）
尺寸mm & 总量
4U 19寸 177 H x 482 W x 644 D 40Kg
通讯接口:
RS-485 兼容TRUMRF Modbus协议，无缝切换
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