中频电源 PECVDMFG4-80KW 40KW*2
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光伏、半导体生产工艺废气裂解、等离子喷涂、焚烧等。
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- 产品描述
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- 商品名称: 中频电源 PECVDMFG4-80KW 40KW*2
光伏、半导体生产工艺废气裂解、等离子喷涂、焚烧等。
产品应用
光伏电池片PECVD成膜，在硅片表面淀积氮化硅（SiNx）减反射薄膜。
产品特点
- DSP+FPGA控制，硅片转换效率Eta>26.61%;
- 我司Arc专利技术，消除残余能量，卡点烧焦<0.005%;
- 标准40kHZ方波输出;中间色差(鸭蛋片)<0.01%;
- 内置Arc设置 适应不同工艺及舟和硅片，高频误报警<1.5%;
- 配置主动操作面板，便于本地操作和历史数据查询;
- 恒功率P/恒流I模式切换，灵活选择，保障镀膜工艺一致性和复制性;
- 超宽阻抗匹配，无需换挡，适应不同的工艺，TOPCon，PERC,TBC等;
- 一流的可靠及冷却设计，已有上3万台在PVD及PECVD设备上24H稳定运行;
- 优越的性能指标和操作界面完全胜任国际品牌，解决生产中及售后卡脖子困惑;
- 内置避雷器及浪涌双重保护,FC无源滤波+EMI滤波器,对设备0干扰;
- 物理尺寸;电气;和RS485通讯协议兼容德国TRUMRF电源，实现0成本替换.
产品参数
项目
参数
输入电压&频率：
380-400Vac 3P +PE 50-60HZ
输出功率：
80KW (40kw x 2)
输出电流max:
100A+100A 一拖二
输出电压max:
600V
工作模式：
恒功率P/恒流I
输出波形：
方波
工作频率：
40KHZ /±0.01%
脉冲关断时间：
1.5-700ms
脉冲开通时间：
4.5-700ms
脉冲模式：
0.1ms步进
输出通道：
双通道（1拖2）
负载匹配:
无需切换档位 超宽负载匹配能力（8-20Ω）
尺寸mm & 总量
4U 19寸 177 H x 482 W x 644 D 46Kg
通讯接口:
RS-485 兼容TRUMRF Modbus协议，无缝切换
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