自动匹配器
自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气相沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。
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产品介绍
产品介绍
自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气相沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。
产品性能
- 针对性的匹配网络，确保匹配范围满足负载应用。
- 性能安全可靠，长时间工作稳定。
- 实时反射功率测量与控制;
- 优化设计、安装、使用与维修简便。
- 传输效率高，运行噪音小。
- 屏蔽效果好，确保操作人员安全。
- 可外接匹配控制盒，与其他射频功率发生器配合使用。
产品优势
- 加强了镀膜与刻蚀工艺的控制。
- 优化的匹配算法加速匹配时间
- 优化设计最大限度地减少驻波比与反射功率
- 严格的可靠性测试与完善质量体系监控
- 针对客户的负载特性设计匹配的阻抗网络 ，确保设备稳定运行
- 完善生产加工体系，可根据客户设计定制。
- 可外接匹配控制盒，与其他射频功率发生器配合使用。
ZY/RFNA 射频匹配器型号规格
|
型号 |
300W |
500W |
600W |
1000W |
1500W |
2000W |
|
信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
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|
功率输出范围:W |
0-300 |
0-500 |
0-600 |
0-1000 |
0-1500 |
0-2000 |
|
匹配后最大反射功率:W |
≤2W |
≤2W |
≤2W |
≤5W |
≤10W |
≤10W |
|
射频匹配器输出接口 |
UHF/ 7/16 /铜带 |
|||||
|
功率稳定度 |
≤2W |
≤5W |
||||
|
匹配速度 |
≤3S |
|||||
|
供电电压:50/60Hz |
单相交流（187V-253V） |
|||||
|
整机效率:≥% |
≥90% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
强制风冷+水冷 |
||||
|
整机重量:kg |
6.5±0.5 |
9±0.5 |
9±0.5 |
11±0.5 |
13±0.5 |
13±0.5 |
|
电源尺寸:H x W x D(mm) |
132*275*369 |
142*320*414 |
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