自动匹配器

所属分类:

真空镀膜等离子体电源

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自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气相沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。

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产品介绍

产品性能

针对性的匹配网络，确保匹配范围满足负载应用。
性能安全可靠，长时间工作稳定。
实时反射功率测量与控制;
优化设计、安装、使用与维修简便。
传输效率高，运行噪音小。
屏蔽效果好，确保操作人员安全。
可外接匹配控制盒，与其他射频功率发生器配合使用。

产品优势

加强了镀膜与刻蚀工艺的控制。
优化的匹配算法加速匹配时间
优化设计最大限度地减少驻波比与反射功率
严格的可靠性测试与完善质量体系监控
针对客户的负载特性设计匹配的阻抗网络，确保设备稳定运行
完善生产加工体系，可根据客户设计定制。
可外接匹配控制盒，与其他射频功率发生器配合使用。

ZY/RFNA 射频匹配器型号规格

型号	300W	500W	600W	1000W	1500W	2000W
信号频率	13.56MHz±0.005%
功率输出范围:W	0-300	0-500	0-600	0-1000	0-1500	0-2000
匹配后最大反射功率:W	≤2W	≤2W	≤2W	≤5W	≤10W	≤10W
射频匹配器输出接口	UHF/ 7/16 /铜带
功率稳定度	≤2W					≤5W
匹配速度	≤3S
供电电压:50/60Hz	单相交流（187V-253V）
整机效率:≥%	≥90%
冷却方式	强制风冷				强制风冷+水冷
整机重量:kg	6.5±0.5	9±0.5	9±0.5	11±0.5	13±0.5	13±0.5
电源尺寸:H x W x D(mm)	132275369				142320414