阳极层离子源电源
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清洗基片表面污染物(本征氧化物等污染物、含碳氢化合物等)、增加薄膜结合力、减少基底缺陷、增加基片表面能、基片表面粗化、离子辅助沉积(致密化薄膜)。
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- 产品描述
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- 商品名称: 阳极层离子源电源
清洗基片表面污染物(本征氧化物等污染物、含碳氢化合物等)、增加薄膜结合力、减少基底缺陷、增加基片表面能、基片表面粗化、离子辅助沉积(致密化薄膜)。
条形离子源电源
产品应用
清洗基片表面污染物(本征氧化物等污染物、含碳氢化合物等)、增加薄膜结合力、减少基底缺陷、增加基片表面能、基片表面粗化、离子辅助沉积(致密化薄膜)。
产品特点
- 主回路拓扑采用PFC+全桥构架 结合ARM+DSP数字控制技术;
- 同时检测 V-ARC & I-ARC 快速切断输出 同时启动内置专利技术,消除残余电弧能量，避免与基片放电打弧，确保高精膜层 提高镀件的成品率 表面光洁度和膜层结合力;
- 恒流\恒压可选;
- 输出电压2500V或3000V,电流3000mA,频率20-40KHZ;
- 配置面板操作和显示;远程PLC通讯接口：模拟量、RS485、PROFIBUS、EtherCAT。
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