单极脉冲溅射电源
金属合金石、石墨 、硅铝 等靶材，镀制金属膜，碳膜和部分氧化物 ，氮化物，碳化物膜层。
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产品介绍
功率等级:20KW-80KW
产品应用
金属合金石、石墨 、硅铝 等靶材，镀制金属膜，碳膜和部分氧化物 ，氮化物，碳化物膜层。
产品特点
- 主回路拓扑采用PFC+全桥构架 结合ARM+DSP数字控制技术
- 内置灭弧时间设置25μs-500μs ，适应不同的工艺及靶材 ，显示计数打弧数据
- 输出频率20-80KHZ，占空比70-90%可调
- 恒功率、 恒电流 满足任意工艺要求
- 脉冲 &直流 两个模式输出，满足不同工艺要求
- 配置面板操作和显示,远程PLC通讯接口,模拟量、RS485、PROFIBUS、EtherCAT
产品参数
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型号 |
ZY/DCPulseG4 |
输出精度 |
<±0.1%,设定值对比 |
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输入电压 |
380Vac + PE 50/60HZ |
PLC控制 |
I/O、RS485、DP、EtherCAT |
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功率KW |
20KW-80KW |
IO/模拟口 |
DB-25PIN 0-10V DC |
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工作模式 |
恒功率P/恒电流I |
RS-485 |
DB-9 Modbus-RUT Pin 1A 2B |
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输出电流 |
25-160A |
ProfiBus |
DB-9 Pin 3A 8B 5GND |
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输出电压 |
800/1000V |
尺寸[mm] |
1178H * 440W*480 D mm |
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设定分辨率 |
调节0.01A/0.1KW |
冷却方式 |
水冷＋辅助风冷 |
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输出频率 |
40KHZ |
占空比 |
60-90% |
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电弧能量Arc |
＜0.2mJ/KW |
GENCOA speedfio |
支持 |
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LCD显示 |
进度条显示实时数据 |
净总 |
49Kg |
产品询价
营业执照