双极脉冲溅射电源
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金属合金、石墨、 硅铝、ITO、AZO等靶材镀制金属膜、碳化膜和氧化物、氮化物膜层
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- 产品描述
-
- 商品名称: 双极脉冲溅射电源
金属合金、石墨、 硅铝、ITO、AZO等靶材镀制金属膜、碳化膜和氧化物、氮化物膜层
功率等级:20KW-80KW
产品应用
金属合金、石墨、 硅铝、ITO、AZO等靶材镀制金属膜、碳化膜和氧化物、氮化物膜层
产品特点
- 主回路拓扑采用PFC+全桥构架 结合DSP+FPGA数字控制技术
- 内置灭弧时间设置10us-100us 适应不同的工艺及靶 材 打弧显示计数
- 输出频率10-100KHZ,间歇时间 1-10us
- 恒功率、恒电流满足任意工艺要求
- 主动抑弧，改善靶材表面电荷积累现象，减小溅射表面打火次数，提高膜层质量
- 脉冲 &直流 两个模式输出，满足不同工艺要求
- 配置面板操作和显示;远程PLC控制通讯接口：模拟量、RS485、PROFIBUS、EtherCAT
产品参数
型号
ZY/DCPulseG5
输出精度
<±0.1%,设定值对比
输入电压
380Vac + PE 50/60HZ
PLC控制
I/O、RS485、DP、EtherCAT
功率KW
20KW-80KW
IO/模拟口
DB-25PIN 0-10V DC
工作模式
恒功率P/恒电流I
RS-485
DB-9 Modbus-RUT Pin 1A 2B
输出电流
25-160A
ProfiBus
DB-9 Pin 3A 8B 5GND
输出电压
800/1000V
尺寸[mm]
1178H * 440W*480 D mm
设定分辨率
调节0.01A/0.1KW
冷却方式
水冷＋辅助风冷
输出频率
0-100KHZ(连续可调）
占空比
67-98%
电弧能量Arc
＜0.2mJ/KW
GENCOA
speedfio
支持
LCD显示
进度条显示实时数据
净总
49Kg
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