双极脉冲溅射电源
金属合金、石墨、 硅铝、ITO、AZO等靶材镀制金属膜、碳化膜和氧化物、氮化物膜层
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产品介绍
功率等级:20KW-80KW
产品应用
金属合金、石墨、 硅铝、ITO、AZO等靶材镀制金属膜、碳化膜和氧化物、氮化物膜层
产品特点
- 主回路拓扑采用PFC+全桥构架 结合DSP+FPGA数字控制技术
- 内置灭弧时间设置10us-100us 适应不同的工艺及靶 材 打弧显示计数
- 输出频率10-100KHZ,间歇时间 1-10us
- 恒功率、恒电流满足任意工艺要求
- 主动抑弧，改善靶材表面电荷积累现象，减小溅射表面打火次数，提高膜层质量
- 脉冲 &直流 两个模式输出，满足不同工艺要求
- 配置面板操作和显示;远程PLC控制通讯接口：模拟量、RS485、PROFIBUS、EtherCAT
产品参数
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型号 |
ZY/DCPulseG5 |
输出精度 |
<±0.1%,设定值对比 |
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输入电压 |
380Vac + PE 50/60HZ |
PLC控制 |
I/O、RS485、DP、EtherCAT |
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功率KW |
20KW-80KW |
IO/模拟口 |
DB-25PIN 0-10V DC |
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工作模式 |
恒功率P/恒电流I |
RS-485 |
DB-9 Modbus-RUT Pin 1A 2B |
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输出电流 |
25-160A |
ProfiBus |
DB-9 Pin 3A 8B 5GND |
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输出电压 |
800/1000V |
尺寸[mm] |
1178H * 440W*480 D mm |
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设定分辨率 |
调节0.01A/0.1KW |
冷却方式 |
水冷＋辅助风冷 |
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输出频率 |
0-100KHZ(连续可调） |
占空比 |
67-98% |
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电弧能量Arc |
＜0.2mJ/KW |
GENCOA speedfio |
支持 |
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LCD显示 |
进度条显示实时数据 |
净总 |
49Kg |
产品询价
营业执照