双极脉冲偏压电源

工具镀、模具、医疗器材、多弧磁控、离子体增强及化学气相沉积；主要作用被镀工件表面的辉光清洗，镀膜前的离子轰击和沉积时的离子加速。

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　　工具镀、模具、医疗器材、多弧磁控、离子体增强及化学气相沉积；主要作用被镀工件表面的辉光清洗，镀膜前的离子轰击和沉积时的离子加速。

主回路拓扑采用PFC+全桥构架结合DSP+FPGA数字控制技术;
输出频率10-100KHZ 正负脉冲输出;
内置灭弧时间设置10us-100us，适应不同的工艺及靶材，打弧累计计数查询;
同时检测 V-ARC & I-ARC 快速切断输出同时启动内置专利技术消除残余电弧能量，避免基片放电打弧，确保高精膜层，提高镀件的良品率，表面光洁度和膜层结合力;
合理调节频率、间隙时间(1-10us)、可改善和控制成膜速度和温度，增加膜层沉积率;
脉冲/直流任意切换满足不同的工艺及基片材料要求;
输出电压0-1100V 无需换挡辉光清洗和镀膜沉积无缝切换;
配置面板操作和显示;远程PLC 通讯接口：模拟量;Modbus;PROFIBUS ;EtherCAT。