
- 产品描述
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- 商品名称: 直流溅射电源
镀制各种纯金属材料
功率等级:500W-200KW
产品应用
镀制各种纯金属材料
产品特点
- 采用先进DSP+FPGA数字控制技术;
- 采用PFC+(Sic及IGBT)组合全桥电路,具有很高的功率密度;
- 输出精度高,工艺重复性好;
- 智能的电弧管理系统 提高了抑制打弧及重启速度;
- 恒流/恒功率模式切换,恒功率模式更能保证镀膜工艺的重复性;
- 风冷和水冷两种可选的方式适用不同的环境适用;
- 配置面板操作和显示;远程PLC通讯接口:模拟量、RS485、PROFIBUS、EtherCAT。
产品参数
型号
ZY/DC(G4)-
GENCOA Speedflo
支持
输入电压
380-400Vac
PLC控制模式
本地/远程(I/O、RS485、DP)
输入频率
50-60HZ
模拟接口
DB-25PIN 0-10V DC
电源功率
10-80kw
RS485接口
DB-9 Modbus-RUT Pin 1A 2B
工作模式
恒功率P/恒流I
DP接口
DB-9 ProfiBusPin 3A 8B
输出电流MaX
0-200A
尺寸[mm]
4U 19寸 178HX480WX644D
输出电压Max
800/1000V
冷却方式
水冷+辅助风冷风向前进后出
电弧能量Arc
<0.3mJ/kW
冷却水管尺寸
φ16mm(外径)×φ12mm内径
输出精度
<±0.5%
进水压力
0.15 to 0.3 Mpa
效率
额定输出>90%
进水温度
+25 to +35 ℃
重量
48-98Kg
进水流量
l/min>3-8L
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