单极脉冲偏压电源
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多弧、磁控、等离子体增强及化学气相沉积，要作用被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前离子轰击和沉积时离子加速。
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- 产品描述
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- 商品名称: 单极脉冲偏压电源
多弧、磁控、等离子体增强及化学气相沉积，要作用被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前离子轰击和沉积时离子加速。
功率等级:20KW-80KW
产品应用
多弧、磁控、等离子体增强及化学气相沉积，要作用被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前离子轰击和沉积时离子加速。
产品特点
- 采用PWM调制技术，恒定电压输出，内置高速灭弧电路，有效抑制工件表面打火 ;提高镀件的成品率、表面光洁度和膜层结合力;
- 合理调节占空比，可改善和控制成膜速度和温度，增加膜层结合力 提高沉积率;
- 分高压档/低于档，高压档适用于辉光清洗和离子轰击，低压档适用于沉积时的离子加速;
- 固定频率40KHZ,占空比20%--90%，满足不同工艺的需求;
- 配置面板操作和显示;远程PLC 通讯接口：模拟量、RS-485、PROFIBUS、EtherCAT。
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