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ZY/DCpulse 高精密直流脉冲电源

电源采用DSP+FPGA数字控制技术，LCD屏显示和存储电源及阴极工作状态随时查询，时时动态追踪。

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ZY/Bias 高精密脉冲偏压电源

电源采用DSP+FPGA数字控制技术，LCD屏显示

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ZY-RF射频电源（13.56MHz）

针对低功率、载行应用，ZY系列射频电源小巧、轻便，拥有空冷式设计。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化，从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个192 x 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。

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自动匹配器

自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气相沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。