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光伏电池片PECVD成膜，在硅片表面淀积氮化硅（SiNx）减反射薄膜
利用等离子体场分解反应气体成膜，制备高质量的超薄氧化层及掺杂多晶硅层，实现电池全面背面高效钝化和载流子选择性通过;SIO2，i-poly，n-poly，mask
利用等离子体场分解反应气体成膜，制备高质量的超薄氧化层及掺杂多晶硅层，实现电池全面背面高效钝化和载流子选择性通过;SIO2，i-poly，n-poly，mask
光伏电池片PECVD成膜，在硅片表面淀积氮化硅（SiNx）减反射薄膜
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光伏电池片PECVD成膜，在硅片表面淀积氮化硅（Si3N4）减反射薄膜。
光伏电池片PECVD成膜，在硅片表面淀积氮化硅（SiNx）减反射薄膜。
光伏、半导体生产工艺废气裂解、等离子喷涂、焚烧等。
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