尾气处理—等离子体炬电源


光伏、半导体生产工艺废气裂解、等离子喷涂、焚烧等。
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直流溅射电源


镀制各种纯金属材料
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中频电源---正弦波


反应溅射镀膜及PCB、印刷、涂覆、点胶等前处理
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中频溅射电源方波系列


双阴极溅金属或半导体材料, 特别适合于反应磁控溅射、氧化物、氮化物、碳化物膜层,增加离化率
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双极脉冲偏压电源


工具镀、模具、医疗器材、多弧磁控、离子体增强及化学气相沉积;主要作用被镀工件表面的辉光清洗,镀膜前的离子轰击和沉积时的离子加速。
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单极脉冲偏压电源


多弧、磁控、等离子体增强及化学气相沉积,要作用被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前离子轰击和沉积时离子加速。
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双极脉冲溅射电源


金属合金、石墨、 硅铝、ITO、AZO等靶材镀制金属膜、碳化膜和氧化物、氮化物膜层
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单极脉冲溅射电源


金属合金石、石墨 、硅铝 等靶材,镀制金属膜,碳膜和部分氧化物 ,氮化物,碳化物膜层。
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阳极层离子源电源


清洗基片表面污染物(本征氧化物等污染物、含碳氢化合物等)、增加薄膜结合力、减少基底缺陷、增加基片表面能、基片表面粗化、离子辅助沉积(致密化薄膜)。
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5KV双极清洗离化电源


工件镀膜前高压轰击清洗 & 镀汽车灯杯硅油保护膜
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10KV矩形大气等离子体电源


Glass, Plastics,Polymer表面清洗有机污染物,同时镀膜覆盖层粘合性 改善,提高可靠性,ITO Glass导电性机盘表面处理,表面增强OCA/OCR可靠性,能够均匀的涂抹OCA/OCR膜,改善OCA/OCR涂层的气泡问题。
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AP大气等离子处理机-旋转型


电子行业的手机壳印刷、涂覆、点胶等前处理,手机屏幕的表面处理;国防工业的航空航天;连接器表面清洗;丝网印刷;转移印刷前处理;改善达因值。
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